半导体行业如何有效测量无尘净化车间内尘埃粒子数

洁净度检测是洁净车间性能测试的核心，气流测试、压力测试等都只能在确认洁净车间的洁净度不受影响后才能正常进行。无尘净化车间里的尘埃拉子计数器是用于测量无尘洁净车间环境中单位空气体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器。尘埃粒子计数器广泛应用于医药、电子、精密机械、彩管制造、微生物等行业中，实现对各种洁净等级的工作台、净化室、净化车间的净化效果、洁净级别进行监控，以确保产品的质量。

据净化工程公司称常见的尘埃粒子计数器是光散射式(DAPC)的，测量粒径范围0.1-104m，此外还有凝聚核式的尘埃粒子计数器(CNC)，可测量尺寸更小的尘埃粒子。在对净化车间进行洁净度检测时，尽管规定了空气的最小采样量，但在实际工作中，我们应在保证最小采样量前提条件下，根据已有的检测设备，尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。

尘埃拉子计数器工作原理：

空气中的微粒在光的照射下会发生散射，这种现象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言，微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。所谓等动力采样就是在检测时，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，而且空气进入净化车间取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。

关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量，在国标GBJ73-84中规定：对于100级的车间，每次取样量应大于或等于1L，对于1000~10000级的车间，每次取样量应大于或等于0.3L，对于10000级的车间，每次取样量应大于或等于0.1L。对于100级净化车间，宜采用大流量粒子计数器进行测试。如果不具备，也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。

尘埃拉子计数器工作流程：

首先，无尘车间中真空泵系统使待检测气体按规定流量通过粒子计数器激光头，气体中的尘埃粒子将散射粒子计数器中的激光信号，从而使其中的光学传感器接受并产生脉冲信息号。
其次，脉冲信息号被输出并放大，然后进行数字信号处理，通过与标准粒子信号进行比较，将对比结果用不同的参数表示出来。电脉冲数量对应于微粒的个数，电脉冲的幅度对应于微粒的大小。
洁净度的验收标准分两点：1.每点的微粒测量平均值应低于规定值；2.任一隔间若需使用信赖度上xian分析，则该分析值也应小于规定值。

尘埃拉子计数器注意事项：

1、当进口管被盖住或被堵塞，不要启动计数仪。
2、粒子计数器应该在洁净环境下使用，以防止对激光传感器的损伤。
3、不要测有可能产生反应的混合气体（如氢气和氧气)。这此气体也可能在赛纳威RPC系列尘埃粒子计数器内产生爆炸。测这些气体需与厂家联系为取得更多的信,息。
4、没有高压减压设备（如高压扩散器）不要取样压缩空气，所有的颗粒计数仪被设计用于在一个大气压下操作。
5、水，溶液或其它液体都不能从入口管进入传感器。
6、颗粒计数仪主要用来测试净化车间干净的环境，当测的地方有松散颗粒的材质，灰尘源，喷雾处时，须*少保持距进口管至少十二英寸远。以免以上的颗粒及液体污染传感器及管路。
7、取样时，僻免取样从计数器本身排出来的或被计数器出来的气体所污染的气体。
8、在连接外置打印机或连接外接温湿度传感器时，需先关掉计数器﹔当执行打印操作时，打印机上须有打印纸，否则会损伤打印头。

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