以反相器为例。

Tool → Library manager

选中一个库

File → new → cell view

1. 原理图

新建一个库,向库中新建cell,新建cell后会自动弹出原理图绘制界面

image.png

先画原理图:

image.png

快捷键介绍:

(1)添加元器件:i,左键放置、右键旋转、Esc推出载入

(2)查看器件参数值:选中某元件后按q

(3)保存电路原理图:x

(4)撤销上次操作:u

(5)居中显示原理图:f

(6)缩小显示窗口:[

(7)放大显示窗口:]

(8)退出:Esc

(9)移动pin:选中后按键盘的shift+m,单击右键是旋转

注意:pin命名最好大写(因为有些工艺制程下进行LVS/DRC检测的时候,只认大写)

2. symbol

原理图画完之后,要建立symbol用于仿真:

image.png

image.png

3. testbench

随后要基于建立的symbol,画testbench

image.png

画testbench时需要对具体工作情景建模,然后选择相应的器件。

从芯片外部引入的电源和地,会存在封装上引线的电感,对于这个电感的模型是需要模拟出来的,在电路仿真中需要把这个电感的模型带入到testbench中,在这里要添加一个理想的电感。

对于常规的QFN\QFP的封装,1um bonding线(金线)等效的电感值在1nH左右、等效阻抗50mΩ,连在引脚上的电源的引线大概有2um左右,由于地线不是直接bonding到封装的管脚上,而是bounding到芯片背面大片的金属地上,这是个单bond、引线电感会小一些,一般在1mm以内,设为1nH,阻抗50mΩ

(10)引线命名:l(小写的L)

(11)进入下一层:e

(12)返回上一层:ctrl+e

(13)电感:ind,电容:cap,电压脉冲发生器:vpulse

对脉冲发生器的设置

观察输出波形,需要增加元器件电容,作为输出的负载。

小电容

4. 仿真

仿真:Tools → analog environment,这里进行了直流仿真和瞬态仿真

image.png

Print直流工作点的方法:

image.png

画图方法:

image.png

有两种画图风格可供选择:

image.png

image.png

inverter仿真;减小P管宽长比带来的影响(蓝色),翻转阈值下降了(可以理解成PMOS需要更低的栅极电压才可以开启)

image.png

5. 版图设计

基于原理图生成版图:

image.png

LSW:版图设计时所有层的信息

image.png

有源层

N阱 N-well

深阱,先进工艺中存在,用于衬底隔离

深N阱(DNW)可以理解为在P-sub上面隔离出来的一块独立区域,里边可以做需要的device,有与外界隔离的作用。于一般的PMOS而言,可以通过放在不同的NWELL里面来相互隔离;而对NMOS而言,它们的well(P-sub)会通过wafer的p-sub short在一起(因为都是P型),相互串扰,互相影响。DNW里边的P-sub与外界的P-sub是隔离的,因此能削弱相互之间的影响。因为这个阱比一般的N well要深很多,所以称为deep N well。除了电位上的隔离,比如说有好几种地电位(0V、-3.3V、-6V等),一般会把害怕被别的模块影响(reference电路、temperature sensor等)或者怕会去影响别的模块的IP(PLL、OSC等)放在DNW里面。

栅极层

N型注入,制造NMOS 或 二极管

P型注入,制造PMOS

金属层

本工艺下用到的是1P6M的配置,只用到了M1~M6,1层多晶硅,6层金属互连层,

过孔层

e.g.:

v1:M1到M2之间的过孔

v2:M2到M3之间的过孔

PSUB层,标识层

文字层

dummy层

顶层厚金属

(14)显示版图的所有层次:shift + f

(15)以框图显示版图:ctrl + f

打散Pcell:

image.png

image.png

设置格点分辨率:

image.png

image.png

显示连线关系:

options→display

image.png

image.png

(16)连线快捷键:p(敲p后点击连接起始端,选择要连的层,再单击结束端,再回车结束)

(17)尺子:k

(18)清除尺子:shift + k

(19)画矩形:r

(20)逐步缩小版图:shift + z

(21)只看某一层:(例如只看M1)LSW窗口选中M1,点击NV,点击版图界面,敲f

(22)整体移动版图某区域,且相应线拉伸:先将selection mode(options→selection)由full改为partial,然后左键框选相应区域,敲s后拖动到相应位置后,左键取消选中

衬底接触环(N阱保护环),guard ring

6. 版图验证(DRC/LVS)

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