- 高空间分辨率 (zei小到50 nm)- 高灵敏度 (元素分布图像ppm)- 高质量分辨率(M/dM)- 并行接受7个质量- 快速数据接收(DC mode, 非脉冲模式),- 可分析绝缘样品Analysis of electrically insulating samples without problem.- 同位素分析精度可达千分之零点几。

参考招标参数：中国科学院2018年仪器设备部门集中采购项目(第一批)

招标编号：OITC-G180260376-1

第4包 纳米离子探针

1.工作条件：

1.1 见总则第3条。

1.2环境温度：～18-23 ℃(±0.5°C恒温)；

1.3相对湿度：30～75%；

1.4电源：230V  ±5%，满足仪器最大功率11kW。

1.5运行持久性：连续使用。。

2.  设备用途：

*2.1 纳米级空间分辨原位微区测试固体样品元素含量和同位素组成。

3.  技术规格：

3.1一次离子系统

#3.1.1同时具备正离子和负离子源，两者之间切换不超过30分钟：

3.1.2 正离子源:

*3.1.2.1样品表面上离子束斑尺寸可变范围5um到100nm；

3.1.2.2 一次束流Ip连续可调节范围：0.1pA到20nA

3.1.2.3离子束斑直径为100 nm时，一次束流的Ip可以达到 2 pA时；

3.1.2.4  一次束流离子束斑直径 ≥ 0.5um时，离子流密度≥100 mA/cm2；

3.1.2.5  一次束流离子流的稳定性(10分钟): 1%；

3.1.2.6 源可拆卸

#3.1.2.7正离子源连续使用时间不少于1000小时

#3.1.2.8 一次流束斑不超过3um情况下束流强度最大可以达到10nA以上

3.1.3  负离子源:

*3.1.3.1样品表面束斑尺寸可变范围5um到100nm；

3.1.3.2 一次束流Ip连续可调节范围：0.1pA到20nA

3.1.3.3离子束斑为100 nm，一次束流的Ip可以达到2 pA时；

3.1.3.4一次束流离子束斑= 100nm时，离子流强度= 2pA

3.1.3.5 一次束流离子束斑直径≥  0.5um时，离子束流密度≥ 100 mA/cm2；

3.1.3.6一次束流离子流的稳定性(10分钟):1%；

# 3.1.4样品分析时一次离子流强度可以用独立接收器即时准确测定

3.1.5 一次流强度测定背景噪声2 ×10-14 A(5秒积分)

3.1.6 一次离子光路配备不少于5种不同规格的狭缝

3.1.7固定样品台，一次离子流最大可扫描范围200 um×200 um

#3.1.8 配备防止绝缘样品电荷累积装置

#3.1.9 配备可于分析时同时获取样品分析区域离子图像及二次电子图像装置

3.2储存室及样品室

3.2.1配备可放置不少于8个样品架的样品储存室，

3.2.2储存室带有隔离阀，可在样品更换、仪器检修等情况下有效维持样品室的真空；

#3.2.3储存室真空可以达到6.7E-9mbar

3.2.4带X-Y-Z三轴均可移动的样品台；

3.2.5样品台移动距离： X轴方向70mm；Y轴40mm；Z轴1mm;

3.2.6样品台移动步幅：< 1um；

#3.2.7 样品分析室真空在一次流工作时可以达到6.7 × 10-10 mbar

3.2.8可容纳样品最大尺寸：直径为54mm，厚度为12 mm；

3.2.9最大样品视场0.7 mm。

3.2.10 配备快速样品装载系统，可容纳最大直径54mm的样品

#3.2.11样品台和一次离子流之间10分钟内相对漂移不超过100nm

# 3.2.12 快速样品装载系统真空可达1.3× 10-7mbar

3.2.13配备像素不少于2052 × 2456的彩色CCD数码摄像头观察样品

3.2.14配备同轴LED照明系统

#3.2.15 可提供分辨率达1.5um样品光学图像

#3.2.16样品台复位精度：<5um

3.3 二次离子光学系统

#3.3.1计算机控制检测飞行半径 145至 680 mm范围内的二次离子；

3.3.2可同时测量的最大元素与最小元素的质量比即Mmax/Mmin可达22；

#3.3.3 M/∆M=6000高分辨本领下的传输率≥55%；

#3.3.4M/∆M=9000高分辨本领下的传输率≥25%；

3.3.5在M 28和M56间峰切换条件下五分钟内质谱稳定性∆M /M15ppm；

3.3.6 配备二次离子动态传输系统，可同时测量的样品分析区域≥50 um ×50 um

3.3.7 从分析中心到边缘的传输率差异不超过10%

#3.3.8静态条件下十分钟内质谱稳定性∆M /M  10 ppm；

#3.3.9 配备不少于5种入口狭缝

#3.3.10 配备不少于3种出口狭缝

#3.3.11 配备位置和宽度连续可调的能量狭缝

3.3.12 配备能量过滤装置

#3.3.13 配备NMR和Hall probe的 磁场稳定装置

3.3.14 可测试最大质量400amu

#3.1.15 配备可用于H/D比值测量的磁场稳定系统

3.4 二次离子检测系统

#3.4.1配备六个计算机控制的可移动的法拉第杯及一个固定位置的法拉第杯。

#3.4.2 配备六个计算机控制的可移动的电子倍增器

3.4.3检测器移动20mm后的复位重复性精度5um

3.4.4检测器移动步幅1.2um

#3.4.5 法拉第杯噪声5 s 积分时间5 ×10-16 A；

3.4.6 二次离子提取电压5kV-10kV之间连续可调

3.4.7 二次离子提取电压调节步幅为2.5V

#3.4.8电子倍增器背景0.01 count/秒；

3.4.9 法拉第杯和电子倍增器可以由电脑控制自动切换

#3.4.10 电子倍增器为接收器，同一4× 4um分析区，10次测量30Si/28Si及29Si/28Si比，在30Si泊松分布0.7 permil下测量重现性(1sigmaRSD) 1.25 permil，单次测量内部精度(std-err) 0.40 permil

#3.4.11 电子倍增器接收，8毫米区域内16次在不同的4× 4um分析区测量30Si/28Si及29Si/28Si比，在30Si泊松分布0.7 permil下，测量外部重现性(1sigmaRSD) 1.25 permil，(std-err) 0.31permil

#3.4.12电子倍增器接收，同一样品靶12次在5个不同样品孔位测量30Si/28Si及29Si/28Si比，在30Si泊松分布0.7 permil下测量外部重现性(1sigmaRSD) 1.65 permil，(std-err) 0.48permil

#3.4.13法拉第接收，30Si计数≥2E6 cps，110秒积分时间， 10次相互间距离不超过20um的不同10× 10um分析区测量30Si/28Si及29Si/28Si比，测量外部重现性(1sigmaRSD) 0.45 permil，(std-err) 0.14 permil

#3.4.14法拉第接收，30Si计数≥2E6 cps，110秒积分时间，8毫米区域内16次在不同的10× 10um分析区测量30Si/28Si及29Si/28Si比，测量外部重现性(1sigmaRSD) 0.60permil，(std-err) 0.15permil

#3.4.15法拉第接收，30Si计数≥2E6 cps，110秒积分时间，同一样品靶12次在5个不同样品孔位测量30Si/28Si及29Si/28Si比，测量外部重现性(1sigmaRSD) 0.8 0permil，(std-err) 0.23permil，

#3.4.16法拉第接收，18O计数≥2E6 cps，160秒积分时间，10次相互间距离不超过20um的不同10× 10um分析区测量18O/16O比，测量外部重现性(1sigmaRSD) 0.80permil，(std-err) 0.25 permil

#3.4.17法拉第接收，18O计数≥2E6 cps，160秒积分时间，8毫米区域内16次在不同的10× 10um分析区测量18O/16O比，测量外部重现性(1sigmaRSD) 1. 0permil，(std-err) 0.25 permil

3.5 真空系统

3.5.1样品室离子泵抽速≥300 l/s；

3.5.2质量分析器离子泵抽速≥300 l/s；

3.5.3储存室离子泵抽速≥120 l/s；

3.5.4检测系统分子涡轮泵抽速≥550 l/s；

3.5.5一次离子源分子分子涡轮泵抽速≥80 l/s;

3.5.6load lock分子涡轮泵抽速80 l/s;

3.5.7各种相应的初级机械干泵。

#3.5.8检测器端真空 2.7×10-8 mbar

3.5.9 样品室配备Ti泵

3.5.10 真空系统故障时能自动保护，避免正常运行的各种泵损坏

3.6数字控制电路与数据系统

3.6.1 配备与设备匹配的预装软件的专用计算机(LCD屏幕)及其软件系统。

，配备不少于16GB的内存、不少于512GB的 M.2固态硬盘及不少于1T容量的机械硬盘

3.6.2配备用于数据采集、处理和仪器控制的多任务软件。

#3.6.3 ：配备双控制台(其中之一可在独立于仪器的操作间对仪器进行操作)；

配套设备要求

3.7.1 UPS 20KVA以上

4、技术资料

详细的操作指南，仪器维护的有关资料及质量认证书，提供仪器的计算机操作程序源代码。

5. 选购附件、备件及消耗品：(请参考总则第2.2条)

提供仪器运行3年所需易损配件。

投标方提供仪器运行3年所需易损配件详细列表，招标方对所选购的配件保留最后解释权。