一、Array制造工艺流程

Array制造工艺流程图如上,其中包括了成膜工艺、黄光工艺、刻蚀工艺、剥离工艺。

二、M1 Gate电极制程

这一步其等效电路如图所示。

Gate电极在TFT中的位置,如下图所。

三、有源层制程

有源层制程示意图如下图所示。

这一步其等效电路如图所示。

有源层在TFT中的位置如图所示。

四、M2 源/漏(S/D)电极制程

M2 源/漏(S/D)电极制程示意图如下。

这一步其等效电路如图所示。

M2 源/漏(S/D)电极在TFT中的位置如图所示。

五、 钝化保护层 P-SiNx制程

钝化保护层 P-SiNx制程示意图,如图所示。

这一步其等效电路如图所示。

M2 源/漏(S/D)电极在TFT中的位置,如图所示。

六、像素电极ITO制程

像素电极ITO制程示意图,如图所示。

这一步其等效电路如图所示。

像素电极ITO在TFT中的位置,如图所示。

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