荷兰光刻机巨头——ASML
荷兰光刻机巨头——ASML
正如我们知道的那样，中国的某些芯片公司的崛起引起了美国高层的恐慌，多次下达禁令，禁止向中国出售芯片和光刻机。
光刻机究竟是什么神奇的东西，居然能够遏制住中国的芯片产业？
目前在用的光刻机分为两类：一类是深紫外光刻（DUV光刻机），一类是极紫外光刻（EUV光刻机）。
1.深紫外光刻机
深紫外光刻机分为液浸式和干分式。顾名思义，一种是干湿分离，一种是不分离。ASML的DUV光刻机采用的便是浸液式，光刻使用的波长为193nm，结合多重曝光技术甚至可以制造7nm制程，但这过程需要极大代价，多重曝光带来的首先是成本的上升，其次芯片流片后的良率难以保证（好片数量/所有芯片数量），难以大规模量产。
2.极紫外光刻机
极紫外光刻机采用的是13.5nm的波长，这是7nm及以下制程芯片必须采用的光刻工具。换言之没有ASML的EUV光刻机TSMC和SamSung的5nm芯片就无法量产使用，没有任何可以替代的光刻技术。
2.1 EUV光刻技术之难
EUV采用的13.5nm波长光具有极大的破坏性，对于设备的材料，工艺都有很大的考验。甚至对于空气分子的波动对光刻都有极为重要的影响，只能工作在真空环境下。其中关键一个零件——反射镜，由德国著名公司蔡司研发，误差仅有pm，1nm=1e3pm，大致相当于反射镜面积有整个德国大，最高的突起处不能高于一公分高。
正是因为EUV光刻技术的重要，Intel，TSMC，SamSung纷纷投资ASML，加快EUV光刻机研发进度。
受限与美国禁令影响，我们目前仅可以和ASML订购DUV光刻机。
关键技术掌握在他人手里，只能受制于人，畏手畏脚。
国家也在也在重视IC产业。集成电路专业上升为一级学科，在南京创立国家级新区——江北新区，南京集成电路大学成立，无不标志中国IC行业上升到一个新的层次，受到前所未有也应有的重视。
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