摘要

高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。

建模任务

概述

•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。

•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。

光线追迹仿真

•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。

•单击go!

•获得了3D光线追迹结果。

光线追迹仿真

•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。

•单击go!

•结果得到点图(二维光线追迹结果)。

场追迹仿真

•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。

•单击go!

场追迹仿真(相机探测器)

•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。

•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。

场追迹仿真(电磁场探测器)

•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。

场追迹仿真(电磁场探测器)

•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。

文件信息

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