MEMS陀螺仪抗震动研究

机械振动极大的影响MEMS陀螺仪的测量精度，如何消除机械振动对MEMS 测量的影响是这个行业的核心工作
原理框图如下:项目使用梳齿结构MEMS陀螺仪表头+驱动电路+检测电路.MEMS表头采用孟氏C-V转换电路,孟氏C-V转换电路不同于常见的C-V转换电路的地方是,孟氏C-V转换电路巧妙地利用了MEMS表头的机械机构，从物理的角度消除机械振动对科氏力的影响，实验表明，这个设计方案有很好的抗机械振动的能力,这在源头上抑制了机械振动对MEMS陀螺仪输出信号的影响;
MEMS驱动电路采用自激式电路,该电路可以实现自动锁定MEMS陀螺仪表头谐振频率,并有稳幅功能,检测电路可以完全消除机械振动对科氏力的影响,系统框图如下: (未完待续 2020年3月 15日如果您对本文提到的技术问题有疑问或好的建议，欢迎批评指正，欢迎拍砖，本人万分感谢：jingsheng_meng@126.com)

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