光刻胶分为:半导体光刻胶/LCD光刻胶/PBC光刻胶
光刻胶分为:半导体光刻胶/LCD光刻胶/PBC光刻胶
光刻胶的种类:
光刻胶的主要成分有光刻胶树脂、感光剂、溶剂和添加剂。光刻胶树脂是一种惰性的聚合物基质,是用来 将其它材料聚合在一起的粘合剂;光刻胶的粘附性、胶膜厚度等特性都是由树脂决定的。感光剂是光刻胶的核 心部分,它对光形式的辐射能,特别是在紫外区光的辐射能会发生反应;曝光时间、光源所发射光线的强度都 和感光剂的特性直接相关。溶剂是光刻胶中容量较大的成分;因为感光剂和添加剂都是固态物质,为了将他们 均匀地涂覆,要将它们加入溶剂进行溶解,形成液态物质,且使之具有良好的流动性,可以通过旋转方式涂布 在晶圆表面。添加剂可以用以改变光刻胶的某些特性,如可以通过添加染色剂来改善光刻胶,使其发生反射。
光刻胶的品种多种多样,基于感光树脂的化学结构,按技术可分为光聚合型、光分解型、光交联型三种。另外,正性和负性光刻胶是光刻胶的两个重要品类,光照后形成可溶物质的为正性胶,形成不可溶物质的为负 性胶。由于性能较优,正性光刻胶应用更广,但由于光刻胶需求量大,负性胶仍有一定的应用市场。
光刻胶的组成部分:
光刻胶较为重要的技术指标包括分辨度、对比度、敏感度。优秀的光刻胶必须具备高分辨度、高敏感度和 高对比度,以保证能将精密的图像从掩模版转移到硅片上。另外,光刻胶的技术要求高,所有的技术指标都必 须达标,因此除上述三个硬性指标外,好的光刻胶还必须具有强蚀刻阻抗性、高纯度、低溶解度、高粘附性、 小的表面张力、低成本、长寿命周期以及较高的玻璃化转换温度。
光刻胶有以下主要技术参数:
光刻胶应用领域宽阔,半导体光刻胶尤为重要
光刻胶经过几十年不断的发展和进步,应用领域不断扩大。在光刻胶不断发展进步的过程中,衍生出非常 多的种类,按照应用领域不同,光刻胶可以划分为半导体用光刻胶、液晶显示(LCD)用光刻胶、印刷电路板(PCB) 用光刻胶、其他用途光刻胶。其中,PCB 光刻胶壁垒相对较低,而半导体光刻胶代表着光刻胶技术较先进水平。
1-丙烯酸金刚烷酯 121601-93-2
1-金刚烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8
丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3
4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2
1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯 216581-76-9
2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 249562-06-9
2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯 303186-14-3
1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9
2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7
甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 34759-34-7
2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯 297156-50-4
2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 251564-67-7
gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯 130224-95-2
N-异丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6
(9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1
(5-氧代四氢呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9
1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1
1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4
2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯 31480-93-0
n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5
2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5
甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9
2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1
2-乙烯基萘 827-54-3
2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8
2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯 195000-66-9
丙烯酸甲基环戊酯 178889-49-1
丙烯酸1-乙基环戊酯 326925-69-3
2-氧代四氢呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2
4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9
4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0
甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3
3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7
acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0
1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0
1-甲基环己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8
2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7
2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8
1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7
1-乙基环己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8
4-异丙基苯酚 4286-23-1
(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5
乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1
2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2
1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6
甲基丙烯酸四氢呋喃-2-基酯 15895-80-4
oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0
6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7
3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1
2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8
2,3-二羟基丙烯酸丙酯 10095-20-2
2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷 2653-39-6
3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3
2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷 123455-94-7
二苯基碘酰氯 1483-72-3
双[4-(1,1-二甲基乙基)苯基]碘鎓与三氟甲磺酸的盐 84563-54-2
全氟丁基磺酸三苯基锍盐 144317-44-2
双(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 5421-53-4
TBPDPS-PFBS 258872-05-8
1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐 194999-85-4
(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸 85342-62-7
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